（四）建设先进半导体功能器件产业基地
在集成电路领域，以硅材料为代表的第一代半导体产业占据了统治地位，而随着以砷化钾、氮化钾与碳化硅等材料为代表的第二、三代半导体技术的深入应用，在先进半导体分立器件与专用集成电路领域，显示出了巨大的发展潜力，并正在成为IT产业新的发动机。
与硅基大规模集成电路生产线相比较，先进半导体功能器件生产线相对投资较少、见效快，本地市场需求旺盛，除国家布局的少数几个研究单位外，国内还少有地方提出规模发展战略。这是我市半导体产业后来居上的发展良机。
依托西安集成电路加工产业园，规划、建设西安先进半导体功能器件产业基地（简称器件产业基地），营造一个适宜于企业快速聚集的物理支撑环境，有利于发展先进半导体功能器件产业集群。一是依托高新区，研究制订器件产业基地建设方案；二是联合西安电子科技大学、西安理工大学等研究单位，依托生产线，建立西安先进半导体器件工程技术研究中心，提升产品的自主创新与技术转移能力；三是依托器件产业基地，通过引进境外技术团队与本地技术力量相结合，自主发展先进半导体功能器件产业。
（五）硅材料及其加工
围绕硅材料产业链，大力推进上游具有强劲产业支撑与自主创新能力的多晶硅产业的发展，优先发展下游硅材料深加工与应用产业；以现有龙头企业为核心，在国际范围内，整合资源，扩大多晶硅的供应渠道，完善快速物流与产业配套环境，进一步聚集下游加工应用企业和相关配套企业。
一是在陕西省境内积极推进千吨级多晶硅重大项目的建设，为我市硅材料加工业提供原材料保障。
二是依托现有硅材料加工企业，提升其装备能力与技术水平，发展半导体级与太阳能级硅材料加工业，从而进一步推进我市太阳能光伏产业的发展与壮大。
三是以自主技术与装备为依托，发展第二、三代新型半导体材料产业，特别是氮化镓、碳化硅等材料产业，为先进半导体功能器件、光电器件、半导体照明等产业提供支撑。
四是结合硅材料加工业的特点与现有企业的实际需求，组织重大技术攻关，解决关键设备与工艺瓶颈，提升生产效率与产品质量；筹划建设西安硅材料产业基地，为龙头企业快速壮大、产业聚集构筑一个良好的发展平台。
五、主要保障措施
（一）加强领导，构建良好的产业发展环境。
设立由市上领导为组长的西安集成电路产业发展协调领导小组（简称领导小组）和由知名专家组成的专家咨询委员会，建立集成电路产业发展联席会议制度，并设立办公室。
