(三)国瑞电子材料有限公司
国瑞电子材料有限公司是中国有色金属研究总院在廊坊经济技术开发区创办的化合物半导体材料企业。该企业目前主要是采用水平法生产砷化镓单晶和晶片,产品主要用于高亮度发光器件和半导体激光器件。企业现有单晶炉20台,年产砷化镓单晶体1.65吨,单晶片10万片。是目前国内最大的水平砷化镓单晶生产企业,产量占全国的50%,产品主要出口国外。2001年7月国家计委批复“水平砷化镓晶片高技术产业化示范工程”项目可研,其主要建设内容为:再增加40台单晶炉,使总产量达到5吨,晶片产量达到29万片。届时该企业在世界上的位次将可排到第四位。扩建项目总投资约5600万元。该项目的建设,已与中铝集团和中信集团达成合资协议,两公司各投入2000万元入股。砷化镓晶片经外延加工后,还将大幅度提高附加价值。由于国瑞公司水平砷化镓主要设备均为国产,其价格只有进口设备的四分之一。主要原材料国内资源充足,用自有的技术进行提纯并制造单晶,所以最终产品砷化镓晶片具有很强的国际市场竞争能力。
液封直拉法生产的砷化镓单晶主要用于制造高速集成电路和大功率微波器件。国瑞公司现正在加紧进行直拉法产业化前的各项准备。4英寸的产品可望近期拉制成功,6英寸直拉单晶也将在不久的将来被攻破。“十一五”期间,除水平单晶产量继续扩大外,直拉单晶也要实现相当规模的生产。
此外,有色研究总院也在加紧研究磷化镓、氮化镓、磷化铟等化合物半导体材料的产业化问题,条件成熟时也将在国瑞公司投入生产。届时,国瑞公司将成为我国及世界上综合性化合物半导体材料大型开发生产基地。
(四)河北普兴电子材料有限公司
河北普兴电子材料有限公司是以信息产业部第13研究所半导体材料研究室外延课题组为基础,加13所内部职工集资,于2000年11月组建的高科技股份制企业。企业的主要业务是,依托13所现有技术和条件,开发生产半导体器件级硅外延片。所谓外延,是在高温下通过化学气相反应,在抛光的硅单晶片上生长一层或多层晶格匹配的硅单晶膜,从而改善功率和串连电阻,消除闩锁及软失效,减少材料缺陷,提高半导体器件的成品率和性能。目前,全世界半导体产业所需的硅片约有25%左右需要外延,而且这一比例还在不断上升。硅外延片的生产,是半导体材料生产工序中最后和关键的一环。产业特点是:技术难度大,增值效益高,需具有雄厚的技术支撑和验证条件,不是一般企业所能从事的产业。
普兴公司成立后的第一年,仅依靠已有的一台旧式俄罗斯外延炉就生产了5万片4英寸硅外延片,销售额600余万元,利润200余万元。现正在进行的扩建工程将于2002年完成后,该项目的主要内容是新增外延炉3台(第一台已经投产),年产硅外延片20万片,年销售额5000万元,利润1500--2000万元。2005年前,企业将完成下一步的扩建工程。主要建设内容是再引进5台以上外延炉及相关设备,增加外延片生产能力40万片以上,新增销售收入1亿元以上,利润3000万元以上。初步建成我国北方外延片产业基地。2006--2010年,将是我国半导体产业快速发展的时代,外延片市场需求将急剧上升。为此,普兴公司还将根据市场发展,进一步加大投资力度,成数倍地扩大产业规模。
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